日本-OLYMPUS激光共焦扫描显微镜
详细介绍
主要功能
表面粗糙度测量
高分辨率二维形态观察,真实色二维观察
高分辨率三维形貌观察,真彩三维形貌观察
高精度测量:线宽、高度测量、线粗糙度、面粗糙度、面积、
体积测量、几何测量、直径/半径测量、圆周长、颗粒分析、膜厚测量
典型案例
表面粗糙度测量
高分辨率形貌观察，真彩形貌观察
镀层测量
技术参数
光学放大倍数：108X-17280X
光学较小分辨为 0.12um
测量重复性：0.02μm 观察方式：明场、明场微分干涉、激光共焦、激光共焦微分干涉
可以克服同一画面内有不同反射率的双共焦光学系统
智能降噪
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